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在精密测量中，气源的不净会对三坐标测量机带来许多危害，具体如下：
1如未及时更换滤芯,压缩空气中水及油体积质量超标,三坐标测量机导轨面将产生油迹或水迹,影响三坐标测量机的精度和正常使用。(气源中含有油污如下图）
2、未及时清理油迹或水迹,空气中的灰尘颗粒落在导轨面上,与油迹或水迹混合,依附在导轨面上,将导致三坐标测量机无法正常运行,严重的可能烧毁三坐标测量机的伺服电机及其控制柜。(气源中油污较多，为及时清理后到导轨如图）
3、如未及时更换滤芯,压缩空气中的水、油体积质量超标,大量的油水混合物将通过气源进入机器压力调节平衡阀,引起三坐标测量机的z轴失去保护,有可能撞坏三坐标测量机的测头部分。(下图为气源未进行干燥，含水量高，测座滴水）
4、未及时更换滤芯,微尘含量或者颗粒大小超标,可能引起空气轴承堵塞,导致其无法浮起,划伤导轨或空气轴承,三坐标测量机将无法正常使用（下图为气源中含大颗粒物质，带来的导轨划伤）
总结：
三坐标测量机使用空气轴承,理论上是永不磨损的结构。用户严格按照规定的使用要求配备空气过滤净化装置,再加上三坐标测量机本身配置的精密过滤器,基本上可以过滤掉气源中的水分、油分和粉尘等杂质。提供优质的气源,精心维护与保养空气轴承、供气管路系统、过滤系统等,定期、及时地更换过滤系统中的滤芯装置,能够延长三坐标测量机的使用寿命,提高三坐标测量机的使用效率,精度也能得到有效地保证。所以在压缩空气系统中采用多级分离过滤装置或将压缩空气预处理的相对干燥洁净是很必要的。
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