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平面度是四项形状公差之一，表示被评价表面上所有要素包含在公差带范围内。平面度除了用于控制表面以外，也可以控制中心面，控制中心面时，平面度应标注在尺寸要素的尺寸线上以表示控制的是中心。
三坐标测量法是常用的平面度检测方法之一，通过采用接触式红宝石球形探针对产品面进行触碰式取多点，再通过软件模块运算其平面度值。该测量法测量精度高，效率相对快，
三坐标测量机有其独特的测量规范。三坐标测量中，首先要对特征要素选择合适的测点数，测点数过少，会造成较大的误差，对于确定的测量对象，可以通过样本实验寻找合适的测点数，以保证测量的精度与效率；
比较各类表面，精度高的表面获得的测值，比精度低的表面获得的测值更为可信，测点数对其影响也更小；手动取点误差大，应选用自动测量的方法。采点是三坐标测量的基础工作，为保证测量结果真实可信，应予充分重视。不论是形状误差、还是位置误差，或者尺寸的测量，有了正确的测点信息，才能保证计算评价的真实性。
对一般的测量软件而言，三坐标测量机的测量过程，可分为以下几个步骤（假设测头校验与坐标系的建立已经完成）。 （１）采集特征点的坐标位置。通过测头直接触测被测对象、读取并记录坐标值。
（２）按照“最小条件”对前面测得的特征点进行计算与构建。如果是形状误差，可直接计算出误差值。 （３）如果是位置误差则按照“最小条件”将特征点构建出误差评价所需的点、线、面等基本要素，并用数学的方法计算出各要素间的实际误差，对照图纸判断其是否合格。 在这一过程中，第一步特征点的采集是后续工作的基础，如果有误，构建出的特征要素就不能真实的反映出零件的实际情况，误差计算与评价的结果也就不可信了。因此，特征点的位置、特征点的数量和采集方式对三坐标测量结果有着非常重要的影响。
平面度测量与评价方法
平面度测量是几何量评价的基本内容，是１４类误差测量中基本也是具有代表性的。按照“最小条件”的要求，平面度误差可以由最小包容区域法、对角线法和三点法来评定。
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